এসএমএল: কানেক্টিকটে ইউভ উপাদান তৈরি করা

চিপ তৈরির ক্ষেত্রে এটি আরও ভাল smaller এটি হ'ল, ছোট ট্রানজিস্টরগুলি এমন চিপগুলির দিকে পরিচালিত করে যা একটি ছোট অঞ্চলে আরও বেশি ক্রিয়াকলাপ প্যাক করে এবং historতিহাসিকভাবে এটি পণ্যগুলির ক্রমাগত উন্নতির পাশাপাশি কম কম্পিউটিংয়ের ব্যয় ঘটিয়েছে, যার সাথে ঘনত্ব প্রতি দুই বছর বা তার পরে দ্বিগুণ হয়ে যায়। তবে সাম্প্রতিক বছরগুলিতে, এই উন্নতি হ্রাস পেয়েছে, একাংশ কারণ ছোট চিপগুলির জন্য প্রয়োজনীয় ছোট লাইনগুলি তৈরি করতে প্রচলিত লিথোগ্রাফি সরঞ্জাম ব্যবহার করা আরও কঠিন হচ্ছে। এই অগ্রগতির জন্য শিল্পের বড় আশা হ'ল চূড়ান্ত অতিবেগুনী (EUV) লিথোগ্রাফি called

আমি বছরের পর বছর ধরে EUV সম্পর্কে লিখছি, এবং প্রথম টেস্ট মেশিনগুলি প্রায় এক দশক আগে সানি এবং আইএমইসি-তে চিপ উত্পাদন গবেষণা সুবিধায় ইনস্টল করা হয়েছিল। বড় চিপমেকাররা বছরের পর বছর ধরে EUV মেশিন পরীক্ষা করে নিচ্ছেন, তবে সম্প্রতি তাদের মেশিনগুলি আপগ্রেড করছে এবং নতুন মডেল ইনস্টল করছে এবং এখন তারা তাদের 7nm এবং 5nm উত্পাদন নোডগুলিতে কীভাবে EUV ব্যবহার করবে সে সম্পর্কে খোলামেলাভাবে কথা বলছে।

আমি সম্প্রতি জানতে পেরে কিছুটা অবাক হয়েছিলাম যে একটি ইউরোপীয় সিস্টেমের সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ উপাদানগুলি আসলে নিউইয়র্কের প্রায় ৪৫ মাইল দূরে কানেক্টিকাটের উইলটন শহরে তৈরি।

প্রথমত, কিছু পটভূমি। আপনি আজ যে ইলেকট্রনিক্স ব্যবহার করেন সেগুলির সমস্ত চিপগুলি ফটোলিথোগ্রাফির সাথে প্যাটার্নিংয়ের সাথে জড়িত বিভিন্ন ধরণের পদক্ষেপে উত্পাদিত হয়, যেখানে আলোক সিলিকন ওয়েফারে একটি মুখোশ দিয়ে যায়, ওয়েফারে উপকরণ জমা করে দেয় এবং অনাকাঙ্ক্ষিত অংশগুলিকে মিথ্যাভাবে তৈরি করে দেয় ট্রানজিস্টর এবং একটি চিপের অন্যান্য উপাদান। সাধারণত, একক চিপ একাধিক স্তর তৈরি করে অনেক লিথোগ্রাফি পদক্ষেপ নেবে। কার্যত বর্তমানের সমস্ত নেতৃস্থানীয় চিপগুলিতে নির্মাতারা 193nm নিমজ্জন লিথোগ্রাফি বা ডিইউভি (গভীর অতিবেগুনী) লিথোগ্রাফি নামে একটি প্রক্রিয়া ব্যবহার করে, যেখানে 193nm এর তরঙ্গদৈর্ঘ্যযুক্ত আলোককে এই নমুনাগুলি তৈরি করতে কোনও তরলের মাধ্যমে প্রতিচ্ছবি প্রতিবিম্বিত করা হয়।

এই ধরণের লিথোগ্রাফির একটি সীমা রয়েছে - যতক্ষণ না এটি কোনও পাসে লাইন তৈরি করতে পারে তার আকার - তাই অনেক ক্ষেত্রেই চিপমেকার প্রস্তাবিত নকশা তৈরি করতে একাধিকবার একক স্তরকে নকশায় পরিণত করেছেন। প্রকৃতপক্ষে, ডাবল-প্যাটার্নিং এখন সাধারণ বিষয়, এবং ইনটেল এবং অন্যদের থেকে চিপগুলির নতুন প্রজন্মটি স্ব-সংযুক্ত কোয়াড প্যাটার্নিং (SAQP) নামে একটি কৌশল ব্যবহার করে। তবে প্যাটার্নিংয়ের প্রতিটি অতিরিক্ত পদক্ষেপ সময় নেয় এবং নিদর্শনগুলি সঠিকভাবে প্রান্তিককরণের ত্রুটিগুলি প্রতিটি চিপকে নিখুঁতভাবে তৈরি করা আরও শক্ত করে তোলে, সুতরাং ভাল চিপের ফলন হ্রাস পায়।

চরম আল্ট্রাভায়োলেট (EUV) লিথোগ্রাফি 13.5nm এর কম তরঙ্গদৈর্ঘ্য সহ আলো ব্যবহার করে। এটি অনেক সূক্ষ্ম বৈশিষ্ট্যগুলির নমুনা করতে পারে তবে এটি অনেক প্রযুক্তিগত চ্যালেঞ্জও তৈরি করে। যেমনটি একবার আমাকে ব্যাখ্যা করা হয়েছিল, আপনি প্রতি ঘণ্টায় 150 মাইল বেলে গলিত টিন স্প্রে করে শুরু করতে পারেন, বিতরণ করার জন্য একটি প্রাক-নাড়িতে একটি লেজার দিয়ে আঘাত করুন, প্লাজমা তৈরির জন্য অন্য লেজার দিয়ে বিস্ফোরণ করুন এবং তারপরে লাইটটি বন্ধ করে দিন ounce এমন একটি রশ্মি তৈরি করতে আয়না যা অবশ্যই ডানদিকের স্পর্শে ওয়েফারে আঘাত করতে পারে। অন্য কথায়, এটি এক ইঞ্চি জোনের বেসবলকে হিট করার চেষ্টা করা যেমন দিনে 10 বিলিয়ন বার স্ট্যান্ডের ঠিক একই জায়গায় যায়। এই কাজটি করার জন্য, আলোককে শক্তিশালী করার জন্য একটি উচ্চ-শক্তিযুক্ত প্লাজমা শক্তি উত্স প্রয়োজনীয় এবং এটি এত জটিল, প্রক্রিয়াটির জন্য সিস্টেমের সমস্ত অংশের সুনির্দিষ্ট প্রান্তিককরণ প্রয়োজন।

এই জটিলতার কারণে, লিথোগ্রাফি সরঞ্জামগুলির বড় ডাচ প্রস্তুতকারক এএসএমএলই একমাত্র সংস্থা যা ইইউভি মেশিন তৈরি করে, এবং ডিভাইসগুলিতে বেশ কয়েকটি সুবিধা থেকে অংশ এবং মডিউল প্রয়োজন। এএসএমএল ফেলো চিপ ম্যাসন অনুসারে উইলটনের কারখানাটি আজ অপটিক্স এবং যথার্থ মেকানিক্সে ডিইউভি এবং ইইউভি মেশিন উভয়ের জন্য সমালোচনামূলক মডিউল তৈরি করে।

বিশেষত, উইল্টন কারখানাটি মডিউলটি তৈরি করে যা বর্তমান টুইনস্ক্যান এনএক্সই: 3350 বি মেশিনের শীর্ষ তৃতীয়টি গ্রহণ করে, যা রেটিকেল স্টেজটি পরিচালনা করে এবং সঠিকভাবে সারিবদ্ধ করে, যা মুখোশটি ধরে রাখে যার মাধ্যমে নিদর্শনটি তৈরি করতে আলো জ্বলানো হয়, পাশাপাশি ওয়েফার প্রান্তিককরণ এবং সমতলকরণ সেন্সর। শীর্ষ মডিউলটি নিজেই কারখানায় উত্পাদিত অন্যান্য মডিউলগুলির সমন্বয়ে গঠিত।

এএসএমএল উইল্টনের জেনারেল ম্যানেজার বিল আমালফিটানো ব্যাখ্যা করেছিলেন কীভাবে কোনও ইইউভি মেশিনে, শীর্ষ মডিউলটি রেটিকেলটি পরিচালনা করে, নীচের অংশটি ওয়েফারকে পরিচালনা করে এবং মধ্যমটি খুব উচ্চ-নির্ভুলতা অপটিক্স পরিচালনা করেন, জিস দ্বারা উত্পাদিত।

মেসন যেমন এটি ব্যাখ্যা করেছেন, ঠিকঠাক অবস্থান এবং অপটিক্সের সাথে রেটিকেলের প্রান্তিককরণ চিপগুলি তৈরিতে গুরুত্বপূর্ণ। এটি করার জন্য, উইল্টনে দলটি নেদারল্যান্ডসের দলগুলি, সান জোসে একটি গণনা লিথোগ্রাফি গ্রুপ এবং একটি মেট্রোলজি গ্রুপের সাথে কাজ করে। যন্ত্রটি ক্রমাগত ব্যবস্থা করে যেখানে জিনিসগুলি রয়েছে এবং "সামগ্রিক লিথোগ্রাফি" নামে পরিচিত একটি প্রক্রিয়াতে সংশোধন ফিরিয়ে দেয়। সমস্ত অংশগুলি নেদারল্যান্ডসের ভেলডহোভেনের এএসএমএলে ফেরত পাঠানো হয়, যেখানে সেগুলি পুরো সিস্টেমে সংহত করা হয়।

চূড়ান্ত মেশিনগুলি বেশ বড় room বেশিরভাগ ঘর আকারের। ম্যাসন নোট করেছেন যে লিথোগ্রাফি সরঞ্জামগুলির প্রতিটি নতুন প্রজন্ম আরও বড় প্রক্রিয়া নিয়ে এসেছিল যার সাথে বড় মেশিনগুলি আরও ছোট বৈশিষ্ট্য তৈরি করে। এই মুহুর্তে, তিনি বলেছিলেন, কোনও ব্যক্তি পুরো প্রক্রিয়াতে বিশেষজ্ঞ হতে পারে না, তাই এটির জন্য কারখানার মধ্যে এবং অন্যান্য সংস্থার লোকেশন উভয়ই প্রচুর দলগত কাজ প্রয়োজন।

"10 বছর আগের মতো এটি সহজ ছিল না, " মেসন রসিকতা করে বলেছিলেন যে পুরানো প্রক্রিয়াগুলিও "সেই সময়ে অসম্ভব বলে মনে হয়েছিল।"

তারা যতটা জটিল, বর্তমান EUV মেশিনগুলি লাইনের শেষ নয়। ম্যাসন বলেছেন, ফার্ম আরও উচ্চতর বৈশিষ্ট্যগুলি মুদ্রণ করতে সক্ষম হতে হোলিস্টিক লিথোগ্রাফি এবং অতিরিক্ত অপটিক্যাল প্রক্সিমিটি সংশোধন বৈশিষ্ট্যগুলির উন্নয়নের পাশাপাশি উচ্চ এনএ (সংখ্যাগত অ্যাপারচার) ইইউতে কাজ করছে। ট্রানজিস্টর ঘনত্বের উন্নতি করা "উল্লেখযোগ্য কাজ, " মেসন বলেছিলেন যে, এই সুবিধা প্রদানকারী সংস্থার কর্মীরা নতুন প্রযুক্তি সরবরাহের একটি দায়িত্ব অনুভব করছেন।

(বিল আমালফিটানো, এএসএমএল উইল্টনের জেনারেল ম্যানেজার; মাইকেল মিলার; অ্যামি রাইস)

আমার কাছে এএসএমএল উইল্টন জিএম বিল আমালফিটানোর সাথে কারখানার মধ্যে দিয়ে চলার সুযোগ হয়েছিল, যিনি ব্যাখ্যা করেছিলেন যে উত্পাদনটি ৩০০, ০০০ বর্গফুট পরিষ্কার ঘরে, ৩০০, ০০০ বর্গফুটের সুবিধার্থে হয়েছিল।

ক্লিনরুমটি প্রায় দুটি গল্পের সমতুল্য বলে মনে হয় এবং এটি সম্পূর্ণ টুইনস্কান ইইউভি মেশিনের মতো নতুন কিছু সরঞ্জামের জন্যও শক্ত বলে মনে হয়। চূড়ান্ত মডিউলগুলিতে যায় এমন কয়েক ডজন বিভিন্ন উপ-সিস্টেম তৈরির জন্য বিভিন্ন স্টেশন সহ এবং ফাংশন অনুসারে রঙ-কোডিংযুক্ত সমস্ত কিছু এটি খুব সুসংহত মনে হয়।

আমি কৌতূহলী ছিলাম কীভাবে এই ধরণের কাজ কানেক্টিকটে শেষ হয়েছিল। ম্যাসন এবং আমালফিটানো, যারা দুজনেই বহু বছর ধরে এই সুবিধাগুলিতে কাজ করে চলেছেন, ব্যাখ্যা করেছিলেন যে এটি সমস্ত কিছু বছর আগে শুরু হয়েছিল যখন নরওয়াকের পার্কিনস-এলমার হাবল টেলিস্কোপের জন্য আয়না জাতীয় জিনিসগুলির জন্য উন্নত অপটিক্স তৈরি করছিলেন। এই সংস্থাটি 1960 এর দশকের শেষের দিকে লিথোগ্রাফি সরঞ্জামগুলিতে কাজ শুরু করে এবং অবশেষে এর মাইক্রিলাইন সরঞ্জামগুলির সাথে অন্যতম সরবরাহকারী হয়ে ওঠে। পারকিনস-এলমার ১৯৯০ সালে এই বিভাগটি সিলিকন ভ্যালি গ্রুপের কাছে বিক্রি করেছিলেন, যার নামকরণ করা হয় সিলিকন ভ্যালি গ্রুপ লিথোগ্রাফি (এসভিজিএল), যা পরিবর্তিতভাবে ২০০১ সালে এএসএমএল দ্বারা অধিগ্রহণ করা হয়েছিল।

পথে, আমাফলিটানো ব্যাখ্যা করলেন, সুবিধাটি প্রসারিত হতে চলেছে। এটি বর্তমানে এএসএমএলের প্রায় 16, 000 কর্মচারীর মধ্যে 1, 200 জনেরও বেশি কর্মরত growing এবং বেড়ে চলেছে emplo

আপনার ব্রডব্যান্ড ইন্টারনেট গতি সম্পর্কে কৌতূহল? এখনই পরীক্ষা!